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Phenom ProX是第五代電鏡能譜一體機，是*的集成化成像分析系統(tǒng)，分辨率提升 20%，進(jìn)一步增加應(yīng)用范圍，更加適用于對電子束敏感的樣品。借助該系統(tǒng)，既可觀察樣品的表面形貌，又可分析其元素組分。研究樣品時，得到樣品的形貌信息只是解決了一半問題。獲得樣品的元素組分信息往往也是非常必要的。借助全面集成、特殊設(shè)計的能譜探測器，飛納電鏡能譜一體機 Phenom ProX 可以完善解決上述所有問題。能譜儀是一種基于樣品被電子束激發(fā)而產(chǎn)生 X 射線的分析儀器。Phenom 的能譜儀無論軟件、硬件都是*集成設(shè)計在飛納電鏡能譜一體機 Phenom ProX 系統(tǒng)中。Element Identification (EID) 軟件可以使用戶實現(xiàn)多點分析，檢測樣品的元素組分。此外，該軟件還可以擴(kuò)展到元素分析線面掃（mapping）功能。分步操作界面可以幫助用戶更方便地收集、導(dǎo)出分析數(shù)據(jù)。

	Phenom Pro	Phenom ProX	Phenom XL
光學(xué)放大	20 - 135 X	20 - 135 X	3 - 16 X
電子光學(xué)放大	80 - 150,000 X	80 - 150,000 X	80 - 100,000 X
分辨率	優(yōu)于 8 nm	優(yōu)于 8 nm	優(yōu)于 14 nm
數(shù)字放大	Max. 12 X	Max. 12 X	Max. 12 X
光學(xué)導(dǎo)航相機	彩色	彩色	彩色
加速電壓	5 Kv - 15 Kv 連續(xù)可調(diào)	5 Kv - 15 Kv 連續(xù)可調(diào)	5 Kv - 20 Kv 連續(xù)可調(diào)
真空模式	高分辨率模式降低荷電效應(yīng)模式	高分辨率模式降低荷電效應(yīng)模式	高分辨率模式降低荷電效應(yīng)模式高真空模式
探測器	背散射電子探測器二次電子探測器 (選配)	背散射電子探測器二次電子探測器 (選配)	背散射電子探測器二次電子探測器 (選配)
樣品尺寸	大直徑 32 mm (Ø)	大直徑 32 mm (Ø)	大 100 mm X 100 mm 可同時裝載 36 個 0.5 英寸樣品臺
樣品高度	高 100 mm	高 100 mm	高 65 mm

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