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美國(guó)SVT RF等離子源/射頻等離子源
產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
美國(guó)SVT公司的RF等離子源適用于多個(gè)公司多種型號(hào)。
法蘭接口包括： 2.75''、4.5''、6''。
等離子源用于離解雙原子氮、氧和氫。離解過程中不會(huì)產(chǎn)生高能離子。
產(chǎn)生的束流含有零離子，有助于生長(zhǎng)高質(zhì)量的薄膜，也可以在不損傷襯底表面的情況下清洗襯底。
高生長(zhǎng)率等離子體源能夠在生長(zhǎng)速率大于4
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
美國(guó)SVT公司的RF等離子源適用于多個(gè)公司多種型號(hào)。
法蘭接口包括： 2.75''、4.5''、6''。
等離子源用于離解雙原子氮、氧和氫。離解過程中不會(huì)產(chǎn)生高能離子。
產(chǎn)生的束流含有零離子，有助于生長(zhǎng)高質(zhì)量的薄膜，也可以在不損傷襯底表面的情況下清洗襯底。
高生長(zhǎng)率等離子體源能夠在生長(zhǎng)速率大于4μm/hr的情況下生長(zhǎng)高質(zhì)量的薄膜。
光闌和等離子腔形狀可以顧客定制，以滿足客戶對(duì)不同流量的需求。
軟件作為可選項(xiàng)，能夠?qū)崿F(xiàn)自動(dòng)操作，允許用戶保存數(shù)據(jù)，編寫工藝程序。
特點(diǎn)
可提供N2、O2、H2等離子源
生長(zhǎng)速率大于4μm/hr
源設(shè)計(jì)有等離子體觀察窗口
光闌和等離子腔形狀可以客戶定制
RF自動(dòng)調(diào)節(jié)可選
RF 功率 | 200-600W |
氣體流量 | 0.1-10SCCM |
法蘭 | 4.50’’ CF |
源直徑 | 2.35’’ |
水冷卻 | 0.17GPM 流量(0.227m3/hr) |
RF匹配網(wǎng)絡(luò) | 手動(dòng)調(diào)節(jié)(自動(dòng)調(diào)節(jié)可選) |
等離子腔 | PBN，氧化鋁，石英 |