 | 上海廣思微凈化設(shè)備有限公司 |
13816003459
在線溝通：
林向華
- 電話：
- 021-58397706/58397708
- 手機(jī)：
- 13816003459
- 傳真：
- 021-58397825
- 聯(lián)系我時(shí)，
- 告知來自化工儀器網(wǎng)
- 個(gè)性化：
- www.quest-tech.cn
- 商鋪網(wǎng)址：
- http://www.cdbihui.com/st300517/
- 公司網(wǎng)站：
- www.quest-tech.cn
[供應(yīng)]Lasertrace+-激光震蕩衰減水分儀
Tiger Optics
微量氣體定量分析的新方法：光腔衰蕩光譜( CRDS)
閻文斌，Tiger Optics，LLC. Warrington，PA18976
介紹
微量氣體雜質(zhì)定量分析在許多領(lǐng)域都非常重要，例如光譜學(xué)，化學(xué)分析、醫(yī)療診斷、環(huán)境監(jiān)測和工業(yè)生產(chǎn)中的污染物控制等。 在過去二十年間，隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的進(jìn)步，半導(dǎo)體生產(chǎn)所用的氣體中zui大允許的不純度減少了四個(gè)數(shù)量級。
的確，超高純度氣體對于半導(dǎo)體集成電路中所要求得越來越小的幾何特點(diǎn)具有極其重要的作用。特別是已經(jīng)證實(shí)了的，氣體中只要有十億分之幾(ppb)的水分就可在硅片上導(dǎo)致瑕疵[1]。 所以半導(dǎo)體制造商要求氣體供應(yīng)商清楚地保證水分不能大于1-10 ppb，今后會要求更低的水平。
半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)對高純度氣體的需求對氣體供應(yīng)商和分析儀器制造商提出了巨大挑戰(zhàn)。微量水分的監(jiān)測不僅用于大用量氣體，例如氮?dú)?、氧氣、氫氣、氦氣和氬氣，而且還要監(jiān)測特殊氣體，例如HCl，HBr，BF3，AsH3，CF4和許多其他氣體。 這些氣體往往是高腐蝕性、易反應(yīng)和有毒的。
這個(gè)挑戰(zhàn)要求微量氣體分析儀不僅應(yīng)具有高靈敏度、準(zhǔn)確度和快速響應(yīng)速度，而且要能夠經(jīng)受腐蝕性氣體。 現(xiàn)有的儀器很少滿足所有這些要求。 光腔衰蕩光譜(CRDS)是少數(shù)能達(dá)到上述要求的一種基于激光的光譜技術(shù)。*臺基于光腔衰蕩光譜(CRDS)原理的儀器，MTO-1000-H2O，可以準(zhǔn)確、快速地檢測普通氣體中200 ppt的水分，此儀器還可用于腐蝕性和有毒氣體。
以上信息由企業(yè)自行提供，信息內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負(fù)責(zé)，化工儀器網(wǎng)對此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。 溫馨提示：為規(guī)避購買風(fēng)險(xiǎn)，建議您在購買產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。