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CV-3000CNC / CV-4000CNC

218 系列 — CNC 輪廓測(cè)量系統(tǒng)

218系列超級(jí)輪廓測(cè)量?jī)x的技術(shù)參數(shù)

X1 軸

測(cè)量范圍: 200mm

分辨率: 0.05μm

檢測(cè)方法: 反射型線性編碼器

驅(qū)動(dòng)速度: 200mm/s (zui大 CNC)

0 - 60mm/s (操縱桿)

測(cè)量速度: 0.02 - 2mm/s

測(cè)量方向: 向前／向后

直線度: 2μm / 200mm

* 以X1 軸為水平方向上

指示精度 (20ºC 時(shí)): ±(1+4L/200)μm (CV-3000CNC),

±(0.8+4L/200)μm (CV-4000CNC)

* L = 驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度 (mm)

a 軸

傾斜角度: -45º (CCW) - +10º (CW)

分辨率: 0.000225º

傾斜范圍: 1rmp

Z2 軸 (立柱)

垂直移動(dòng): 300mm 或 500mm

分辨率: 0.05μm

檢測(cè)方法: 反射型線性編碼器

驅(qū)動(dòng)速度: 200mm/s (zui大 CNC)

0 - 60mm/s (操縱桿)

基座尺寸 (W x H): 750 x 600mm

基座材料: 花崗巖

Z1 軸 (檢出器)

測(cè)量范圍: ±25mm

分辨率: 0.2μm (CV-3000CNC),

0.05μm (CV-4000CNC)

檢測(cè)方法: 線性編碼器 (CV-3000CNC)

激光全息光柵尺 (CV-4000CNC)

指示精度: ± (2+I4HI/100)μm (CV-3000CNC)

(20ºC 時(shí)) ± (0.8+I0.5HI/25)μm (CV-4000CNC)

*H 為水平位置上的測(cè)量高度 (mm)

測(cè)針上／下運(yùn)作 : 弧形運(yùn)動(dòng)

測(cè)針方向: 向上／向下

測(cè)力: 30mN

跟蹤角度: 向上: 70º, 向下: 70º

(根據(jù)表面粗糙度，使用標(biāo)準(zhǔn)單切面測(cè)針)

測(cè)針針尖: 25μm, 硬質(zhì)合金針尖

Y 軸

測(cè)量范圍 : 200mm

分辨率 : 0.05μm

驅(qū)動(dòng)速度: zui大200mm/s (CNC 模式)

0~60mm/s (操縱桿控制模式)

臺(tái)面zui大承重 : 20kg

直線度 : 2μm/200mm

指示精度 (20ºC): ±(2+2L/100)μm

L = 任意兩點(diǎn)間的長(zhǎng)度 (mm)

重量: 240kg, 250kg (高立柱型)

(Y 軸工作臺(tái)與振動(dòng)隔離站的重量除外)

電源: 100 – 240VAC ±10%, 50/60Hz

能耗: 500W (*主機(jī))

218系列超級(jí)輪廓測(cè)量?jī)x的性能參數(shù)