型號

SJ-500

SV-2100M4

SV-2100S4

SV-2100H4

SV-2100W4

標(biāo)準(zhǔn)型

(選件)

手動操作

電動驅(qū)動

測量范圍

Z1 軸 (檢出器)

800μm, 80μm, 8μm

X軸

50mm

100mm

直線度

0.2μm/50mm*¹

0.15μm/100mm

分辨力

X軸

0.05μm

Z1 軸 (檢出器)

0.01μm (800μm), 0.001μm (80μm), 0.0001μm (8μm)

Z2軸（立柱）

—

—

0.1μm

驅(qū)動速度

X軸

0 - 20mm/s 或手動操作

0 - 40mm/s 或手動操作

Z2軸（立柱）

一

手動操作

0 - 20mm/s 或手動操作

測量速度

0.02 - 5mm/s

上下移動量

連接裝置: 30mm

350mm

350mm

550mm

評價輪廓

原始輪廓, 粗糙度輪廓, 波形輪廓, DF 輪廓, 粗糙度 motif 輪廓, 波形 motif 輪廓

評價參數(shù)

Ra, Rc, Ry, Rz, Rq, Rt, Rmax, Rp, Rv, R3z, Sm, S, Pc, m(rc),δc, mr, tp, Htp, Lo, lr, Ppi, HSC, Δa, Δq, Ku, Sk, Rpk, Rvk, Rk, Mr1, Mr2, A1, A2, Vo, Ea, Eq, R, AR, Rx, W, AW, Wx, Wte

輪廓分析

階差 (平均, 大, 小), 圓, 角度, 面積, 坐標(biāo)值邊緣, 傾斜角

分析圖表

負(fù)荷曲線 (BAC), 振幅分布曲線 (ADC), 功率譜圖

曲線補(bǔ)償

拋物線補(bǔ)償, 雙曲線補(bǔ)償, 橢圓補(bǔ)償, 圓補(bǔ)償, 錐面補(bǔ)償, 傾斜補(bǔ)償 (曲面/任意)

濾波

2CR75, PC75, 高斯魯棒樣條

截至波長

λs

0.25, 0.8, 2.5, 8, 25, 80, 250μm, 無濾波

λc

0.025, 0.08, 0.25, 0.8, 2.5, 8, 25, 80*2mm, 無濾波

λf

0.08, 0.25, 0.8, 2.5, 8, 25, 80*2mm, 無濾波

取樣長度

0.025, 0.08, 0.25, 0.8, 2.5, 8, 25, 80*2mm, 無濾波

LCD規(guī)格

7.5" 帶背光的TFT液晶顯示

內(nèi)置打印機(jī)

高速熱敏打印機(jī) (紙寬: 58mm)

記錄放大倍率

水平倍率

10X - 500,000X, 自動

垂直倍率

0.5X - 10,000X, 自動

檢出器

檢出方式

差動電感方式

觸針&測力

0.75mN 觸針針尖 (錐): 針尖錐角: 60o, 針尖半徑: 2μm4mN 觸針針尖 (錐): 針尖錐角: 90o, 針尖半徑: 5μm

電源

100 - 120V AC ±10%, 50/60Hz

功耗

100 VA

70 VA

140 VA

外形尺寸

主機(jī)

425×94×160mm

716×450×863mm

766×482×966mm

766×482×1166mm

1166×482×1176mm

演算顯示部

330×270×94mm

電動裝置

一

一

372×245×71.8mm

重量

主機(jī)

2.7kg

140kg

150kg

220kg

演算顯示部

4.0kg

電動裝置

一

一

3.0kg