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潔凈室的四種類型
（1）非單向流潔凈區(qū)
（2）單向流潔凈區(qū)
（3）混合流潔凈區(qū)
（4）微環(huán)境/隔離裝置
潔凈室按氣流型式過去分非單向流的及單向流的（垂直、水平單向流），90年代中后期ISO14644-4中又提出了混合流的型式，即把實際早已存在的在非單向流潔凈室設(shè)置局部的單向流的潔凈工作臺/站或?qū)恿髡值葘﹃P(guān)鍵部位進行“點”的“線”的保護以減少單向流潔凈區(qū)的面積。如手術(shù)室、制藥廠、實驗室及小批量生產(chǎn)的潔凈室中尚采用這種“點”的保護。而半導(dǎo)體工廠常采用“潔凈隧道”形式形成“線”的保護，即把較多工序的各臺設(shè)備的關(guān)鍵加工區(qū)置于非單向流潔凈室的層流罩內(nèi)，各臺設(shè)備的關(guān)鍵加工區(qū)一般都面對布置。微環(huán)境/隔離裝置，是80年代出現(xiàn)的，90年代以后應(yīng)用逐漸廣泛，它與潔凈室的概念是不*相同的，它是無人在內(nèi)的，是工藝加工設(shè)備的關(guān)鍵加工部位*與周圍環(huán)境隔離并進行加工，防止人等周圍環(huán)境對其加工的污染。它必須是密切與工藝及工藝設(shè)備相結(jié)合的，實質(zhì)上它已成為工藝設(shè)備的一個組成部分。
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