產(chǎn)品簡介
詳細介紹
奧林巴斯半導體顯微鏡
能對應200mm晶圓和FPD玻璃基板的電動型號(反射透射兼用),能夠應對從明視場觀察到熒光觀察的多種觀察方法。切換物鏡時亮度光圈連動能進行自動調(diào)節(jié)。這些功能實現(xiàn)了快速舒適的檢查環(huán)境。
半導體/FPD檢查顯微鏡 MX61
奧林巴斯半導體顯微鏡
OLYMPUS 奧林巴斯半導體顯微鏡MX51是一款高性價比的顯微鏡,適用于各種電子元件、晶圓和大型樣本的觀察需求。
高靈敏度載物臺可以迅速決定位置
內(nèi)置離合器的載物臺手柄
MX51主要操作部件集中在前面,操作人員易于操作,即使長時間操作也不會感到疲勞。150mm載物臺內(nèi)置離合器,可實現(xiàn)輕松移動。
快速切換物鏡,提高檢查速度
OLYMPUS 奧林巴斯半導體顯微鏡MX51
OLYMPUS 奧林巴斯半導體顯微鏡MX51是一款高性價比的顯微鏡,適用于各種電子元件、晶圓和大型樣本的觀察需求。
奧林巴斯半導體顯微鏡
高靈敏度載物臺可以迅速決定位置
內(nèi)置離合器的載物臺手柄
MX51主要操作部件集中在前面,操作人員易于操作,即使長時間操作也不會感到疲勞。150mm載物臺內(nèi)置離合器,可實現(xiàn)輕松移動。
快速切換物鏡,提高檢查速度
電動物鏡轉(zhuǎn)換器示意圖
電動物鏡轉(zhuǎn)換器示意圖 電動物鏡轉(zhuǎn)換器的切換速度比原來提高了20%。物鏡的切換,可以操作按鈕瞬時間完成,提高了檢查速度。三種潔凈類型的物鏡轉(zhuǎn)換器可以按需選擇。另外,UIS2物鏡大幅度地提高了高倍率的偏心精度。即便是有小尺寸攝像元件的CCD攝像機,在切換倍率時也不會由視場中心附近偏離。
鮮明圖像和不錯的分辨率為特點的光學系
多種選擇可實現(xiàn)的成像性能
UIS2物鏡擁有各種倍率、特殊用途物鏡等豐富的產(chǎn)品陣容,可按照用途選用。另外,波像差控制帶來的高品質(zhì),忠實于樣本的中性色彩顯示等,UIS2物鏡無論是在目視觀察中還是在數(shù)碼影像觀察中都能發(fā)揮它的性能。
奧林巴斯半導體顯微鏡規(guī)格
光學系統(tǒng)
UIS2光學系統(tǒng)(無限遠校正)
機身
觀察方法
明視場/暗視場/微分干涉/簡易偏振光/熒光
反射/透射
反射/透射
照明裝置
機身一體型(明視場,暗視場+1選件)
照明系統(tǒng)
反射照明
100 W鹵素/100 W水銀/75 W氙
透射照明
纖維光導
對焦單元
電動/手動
手動
行程
32 mm
分辨率/微調(diào)靈敏度
微調(diào)旋鈕轉(zhuǎn)動1周移動0.1 mm
大樣本高度
30 mm
物鏡轉(zhuǎn)換器
電動型
明視場微分干涉6孔
明暗視場微分干涉5孔
明暗視場微分干涉6孔
明暗視場微分干涉中心輸出5孔
手動式
-
載物臺
行程
8×8 英寸右下手柄:210(X)×210(Y)mm(透射照明范圍189×189 mm)
6×6 英寸右下手柄:158(X)×158(Y)mm
觀察筒
廣角視場(視場數(shù)22)
倒置
雙目/三目觀察筒
正像
三目觀察筒
超寬視場(視場數(shù)26.5)
倒置
三目觀察筒
正像
傾斜三目觀察筒
附件單元
DUV單元/IR單元/電動載物臺/自動裝載
外形尺寸
509(W)×843(D)×507(H)mm(標準組合)
重量
40 kg(標準組合)