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ULVAC 隔膜式干真空泵膜片泵通過橡膠膜片的往復(fù)運(yùn)動來形成真空。泵體結(jié)構(gòu)采用無油環(huán)境設(shè)計、因此維護(hù)簡單。根據(jù)您對壓力和腔體的要求可以選擇各種不同的泵速和雙段/...

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ULVAC 渦旋式干式真空泵結(jié)構(gòu)緊湊，排氣量大。干式真空泵的最高壓力水平。內(nèi)置自動復(fù)位型熱保護(hù)器（單相用）安全設(shè)計。通過空氣沖洗抑制水分凝結(jié)。

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ULVAC 渦旋式干式真空泵?雙繞式渦旋泵、含1根軌道螺旋和2根固定螺旋。?可在大氣壓下實現(xiàn)操作運(yùn)行。?可實現(xiàn)高極限真空。?低振動低噪音。?維護(hù)周期可通過計時表...

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ULVAC 渦旋式干式真空泵通過固定渦旋壁(固定渦輪)與對面渦旋壁(從動渦輪)的偏心運(yùn)動,進(jìn)行排氣的真空泵。

ULVAC 多級羅茨型干式真空泵大排氣量、小型尺寸。不會發(fā)生真空油的返流和油霧。無摩擦部分、長壽命。

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ULVAC 空冷式多級羅茨型干式真空泵用于排出空氣，氮?dú)?，氬氣等惰性氣體的干泵用于排出空氣，氮?dú)猓瑲鍤獾榷栊詺怏w的干泵濺射設(shè)備等的loading/unloadi...

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ULVAC 空冷式多級羅茨型干式真空泵通過高溫領(lǐng)域的泵體均熱化，實現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出的一款泵。