13858065668
當前位置：> 供求商機> Transpector CPM RGA-INFICON/英?？等δ苄蜌堄鄽怏w分析儀
INFICON/英?？等δ苄蜌堄鄽怏w分析儀 Transpector CPM RGA
INFICON CPM RGA(殘余氣體分析儀）是一臺全功能、輕便、高性能氣體分析儀，理想地用于現場監(jiān)測復雜的過程. 其干式抽空系統(tǒng)采用INFICON Transpector 2 氣體分析系統(tǒng)的驗證技術,并達到新的性能水平。
應用于ALD、蝕刻、CVD ，對殘余氣體進行過程監(jiān)測和分析
測量速度為每點 1.8 ms（每秒 555 點）
在大多數苛刻 CVD 和蝕刻應用中，展現出經實踐驗證的耐久性和可靠性
應用集成 — Transpector CPM 集成 FabGuard 軟件，由 INFICON 提供支持，是一款強大的過程監(jiān)測與診斷工具
緊湊尺寸 — 允許輕松集成到半導體生產設備
Hexblock™ 含三個壓力進口并減少表面積，以最小化表面反應時間和響應時間
電容隔膜計 (CDG) — CDG 允許用戶監(jiān)測過程壓力，并自動保護系統(tǒng)不出現壓力偏移
自動校準 — 確保長期數據穩(wěn)定性和精度，以便進行各傳感器和工具的腔室匹配
| Type | 100 AMU CPM | 200 AMU CPM | 300 AMU CPM |
| 分辨率 | 1 amu wide @ 10% peak height | 1 amu wide @ 10% peak height | 1 amu wide @ 10% peak height |
| 總壓力范圍1 | 5E-7 - 1E-3 Torr | 5E-7 - 1E-3 Torr | 5E-7 - 1E-3 Torr |
| 總壓力精度2 | +/- 25% 1E-6 - 1E-3 Torr | +/- 25% 1E-6 - 1E-3 Torr | +/- 25% 1E-6 - 1E-3 Torr |
| 最大離子源工作壓力3 | 1E-3 Torr | 1E-3 Torr | 1E-3 Torr |
| 標稱工作壓力? | 2E-4 Torr | 2E-4 Torr | 2E-4 Torr |
| 系統(tǒng)工作壓力 | 1E-8 Torr - 1.2 atm | 1E-8 Torr - 1.2 atm | 1E-8 Torr - 1.2 atm |
| 靈敏度（低發(fā)射） | > 4E-6 Amps/Torr | > 2E-6 Amps/Torr | > 1E-6 Amps/Torr |
| 靈敏度（高發(fā)射） | > 2E-5 Amps/Torr | > 1E-5 Amps/Torr | > 5E-6 Amps/Torr |
| 最小可檢測分壓? | 1E-13 Torr | 2E-13 Torr | 4E-13 Torr |
| 最大數據速率 | 1.8 ms/point (555 points/sec) | 1.8 ms/point (555 points/sec) | 1.8 ms/point (555 points/sec) |
| 豐度靈敏度? | < 5 ppm | < 10 ppm | < 100 ppm |
| 零沖擊? | < 2 ppm | < 25 ppm | < 200 ppm |
| 檢測限值? | < 1 ppm | < 2 ppm | < 4 ppm |
| 線性度? | +/- 20% | +/- 20% | +/- 20% |
| 最小背景壓力 | 1E-8 Torr | 1E-8 Torr | 1E-8 Torr |
| 最大傳感器和進氣溫°C度 | 150 | 150 | 150 |
INFICON/英?？等δ苄蜌堄鄽怏w分析儀 Transpector CPM RGA
1.使用總壓強鏡頭獲得的離子源壓強讀數@低發(fā)射
2.總壓強準確度@低發(fā)射
3.離子源最大工作壓強@低發(fā)射
4.2x10-4Torr的離子源將在四極區(qū)域產生大約1x10-5Torr的壓強
5.EM開啟且保壓時間為1秒時離子源處的MDPP
6.質量數40對41 AMU的貢獻
7.零沖擊對2 AMU的貢獻
8.空氣中的氪的最小可檢出濃度@ 1秒保壓時間
9.適用于1 Torr孔板或更低設置。0.1至2倍標稱孔板壓強條件下的線性@低發(fā)射
請輸入賬號
請輸入密碼
以上信息由企業(yè)自行提供，信息內容的真實性、準確性和合法性由相關企業(yè)負責，化工儀器網對此不承擔任何保證責任。
溫馨提示：為規(guī)避購買風險，建議您在購買產品前務必確認供應商資質及產品質量。
