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FMSR-AB高精度氣浮轉(zhuǎn)臺

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上海攸亦光電科技有限公司是一家專注于光譜技術和應用開發(fā)的科技企業(yè),提供紫外,可見,近紅外,中紅外到太赫茲范圍的光電產(chǎn)品,包括光學元件,光學儀器,光譜儀,光學機械,成像系統(tǒng),以及各種定制產(chǎn)品和服務。為科研院所和企業(yè)客戶提供專業(yè)的應用咨詢和產(chǎn)品解決方案。



光學元件、光學儀器、光纖器件、光學成像、光機械

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 產(chǎn)品種類 電動
價格區(qū)間 面議 應用領域 綜合

FMSR-AB高精度氣浮轉(zhuǎn)臺 

FMSR-AB高精度氣浮轉(zhuǎn)臺

l閉式氣浮軸承結構

l直驅(qū)驅(qū)動,零齒槽效應

l微米級跳動誤差

l免費標準版SDK

l高性能控制器

l可選配EtherCAT總線控制

產(chǎn)品簡介

FMSR-AB高精度氣浮轉(zhuǎn)臺我們研發(fā)的FMSR-AB系列氣浮轉(zhuǎn)臺采用經(jīng)過特殊設計的空氣軸承,該軸承分別對剛度、承載能力和剛度進行了優(yōu)化。與傳統(tǒng)的軸承相比,采用氣體為潤滑劑,因此所有運動都是無接觸的,因此在整個使用壽命之內(nèi),設備的性能保持不變,并且無需進行特殊維護。該旋轉(zhuǎn)臺采用氣體軸承可提供平穩(wěn)的運動并擁有極低的俯仰、偏擺、滾動、偏航和線性誤差。另其具有清潔、無污染、無摩擦、運行阻尼小、使用壽命久等*性能。

產(chǎn)品應用

l圓度測量系統(tǒng)

l微米或納米斷層掃描成像

l精密制造

l同步輻射或X射線

l半導體行業(yè)

產(chǎn)品圖紙

FMSR150-AB

FMSR-AB高精度氣浮轉(zhuǎn)臺 

FMSR200-AB

FMSR-AB高精度氣浮轉(zhuǎn)臺 

FMSR250-AB

FMSR-AB高精度氣浮轉(zhuǎn)臺 

產(chǎn)品參數(shù)

Model

FMSR150-AB

FMSR200-AB

FMSR250-AB

?程(°)

360

360

360

額定扭矩(N.M)

0.54

1.9

4.2

峰值扭矩(N.M)

2.2

5.8

15.8

負載(Kg)

30

30

60

分辨率(arcsec)

0.2

0.2

0.2

最?步進量(arcsec)

1

1

1

單向重復定位精度/保證值(arcsec)

±2 or 4

±2 or 4

±2 or 4

單向重復定位精度/典型值(arcsec)

±1 or 2

±1 or 2

±1 or 2

雙向重復定位精度/保證值(arcsec)

±3 or 6

±3 or 6

±3 or 6

雙向重復定位精度/典型值(arcsec)

±2 or 4

±2 or 4

±2 or 4

定位精度/保證值(arcsec)

±5 or 10

±5 or 10

±5 or 10

定位精度/典型值(arcsec)

±4 or 8

±4 or 8

±4 or 8

最?速度(RPM)

200

200

120

端跳(μm)

1

2

2

徑跳(μm)

0.05

0.05

0.05

供氣壓力(MPa)

0.4-0.6

0.4-0.6

0.4-0.6

重量(kg)

15

25

30

 

 




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