化工儀器網(wǎng)手機(jī)版
移動(dòng)端訪問(wèn)更便捷
今日焦點(diǎn) Today's Focus
查看更多+-
關(guān)注水質(zhì)安全，“高品質(zhì)供水水質(zhì)分析與檢測(cè)技術(shù)線上研討會(huì)”開(kāi)課在即
2025年5月7日14:00，化工儀器網(wǎng)特舉辦“高品質(zhì)[詳細(xì)]
助力半導(dǎo)體工業(yè)發(fā)展 硅單晶中氮含量測(cè)定標(biāo)準(zhǔn)征求意見(jiàn)
2021年08月16日 15:22:22
來(lái)源：化工儀器網(wǎng) 點(diǎn)擊量：4877
新的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《硅單晶中氮含量的測(cè)定 二次離子質(zhì)譜法》規(guī)定了硅襯底單晶體材料中氮總濃度的二次離子質(zhì)譜測(cè)試方法，可用于工藝控制、研發(fā)和材料驗(yàn)收等目的。該標(biāo)準(zhǔn)正在征求意見(jiàn)中，截止日期為2021年10月12日。
【化工儀器網(wǎng) 標(biāo)準(zhǔn)發(fā)布】硅是最常見(jiàn)且應(yīng)用最廣的半導(dǎo)體材料。而硅單晶作為單質(zhì)硅的一種特殊形態(tài)，由于具有顯著的半導(dǎo)電性，已經(jīng)成為晶體材料的代表，處于半導(dǎo)體材料發(fā)展的前沿。僅就單晶硅片而言，電子通信半導(dǎo)體市場(chǎng)中95%以上的半導(dǎo)體器件及99%以上的集成電路需要用使用單晶硅片。硅單晶對(duì)于當(dāng)代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展的重要意義不言而喻。
目前，我國(guó)已成為全球最大的硅單晶生產(chǎn)國(guó)。在半導(dǎo)體的重要性在激烈的國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)中愈加凸顯的情況下，我們不僅要保證硅單晶的產(chǎn)量，更要加速生產(chǎn)工藝的換代升級(jí)，提高硅單晶的質(zhì)量。硅單晶中氮含量的測(cè)定是硅單晶生產(chǎn)質(zhì)量控制的環(huán)節(jié)之一，測(cè)其方法的改良也是生產(chǎn)工藝的換代升級(jí)的重要一部分。
氮對(duì)于硅單晶的性能有著重要影響。在硅單晶生長(zhǎng)過(guò)程中故意引入氮可以增加單晶生長(zhǎng)過(guò)程中無(wú)缺陷區(qū)域的V/G允許值，增加在氫氣和氬氣中退火后有效區(qū)域的深度和體微缺陷的濃度，減小退火后晶體形成的顆粒(COP)的尺，以及增加在溫度降低工藝下氧在襯底外延層的沉積量。隨著我國(guó)半導(dǎo)體工業(yè)的迅速發(fā)展，測(cè)定硅單晶的氮濃度需要更加規(guī)范、精確。
傳統(tǒng)的硅單晶的氮濃度測(cè)定方法包括的紅外光譜法、電子核磁共振法、深能級(jí)透射光譜法和帶電粒子活性分析法等，但都有各自的缺陷。與上述方法相比，在國(guó)際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域 得到廣泛應(yīng)用的二次離子質(zhì)譜(SIMS)測(cè)量方法的適用性更強(qiáng)，可以克服傳統(tǒng)方法的局限性。當(dāng)前，我國(guó)并無(wú)SEMI測(cè)量方法的相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)，國(guó)內(nèi)對(duì)硅中氮雜質(zhì)含量測(cè)試有需求的企業(yè)通常直接采用國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)。為促進(jìn)我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，我國(guó)決定將該SEMI標(biāo)準(zhǔn)轉(zhuǎn)化成國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，由中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十六研究所負(fù)責(zé)制定。
新的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《硅單晶中氮含量的測(cè)定 二次離子質(zhì)譜法》規(guī)定了硅襯底單晶體材料中氮總濃度的二次離子質(zhì)譜測(cè)試方法，可用于工藝控制、研發(fā)和材料驗(yàn)收等目的。主要采用二次離子質(zhì)譜儀(SIMS)進(jìn)行檢測(cè)，要求儀器必須配備銫一次離子源，而且儀器分析室的真空度需要優(yōu)于 5×10^-7 Pa。其方法原理為：用銫(Cs)一次離子束濺射參考樣品，根據(jù)參考樣品中氮的同位素種類(lèi)，選擇分析負(fù)二次離子 14N28Si或者15N28Si，以確定氮在硅中的相對(duì)靈敏度因子(RSF)。
該標(biāo)準(zhǔn)正在征求意見(jiàn)中，截止日期為2021年10月12日。
相關(guān)閱讀 Related Reading
查看更多+-
新質(zhì)譜技術(shù)DiBT-MS問(wèn)世 酶篩選效率躍升千倍
英國(guó)曼徹斯特大學(xué)與阿斯利康聯(lián)合團(tuán)隊(duì)研發(fā)的生物轉(zhuǎn)化直接分析質(zhì)譜技術(shù)（DiBT-MS），通過(guò)優(yōu)化檢測(cè)流程將酶活性篩選效率提升千倍。該技...2025-05-03 22:20:38 -
2.85億元儀器采購(gòu)大單 中國(guó)石油大學(xué)（華東）發(fā)布政府采購(gòu)意向
4月至今，中國(guó)石油大學(xué)（華東）發(fā)布多個(gè)政府采購(gòu)意向，其中儀器品目100多項(xiàng)，預(yù)算總額達(dá)2.85億元。預(yù)計(jì)采購(gòu)時(shí)間為2025年5月—...2025-05-01 23:06:01 -
預(yù)算840萬(wàn) 武漢大學(xué)采購(gòu)液質(zhì)聯(lián)用儀等
武漢大學(xué)就“武漢大學(xué)水風(fēng)光清潔能源互補(bǔ)運(yùn)行與控制模擬交叉集成創(chuàng)新支撐中心項(xiàng)目-大電流有機(jī)材料合成系統(tǒng)”發(fā)布公開(kāi)招標(biāo)公告，預(yù)算金額為...2025-04-30 09:53:18 -
預(yù)算270萬(wàn)元 中國(guó)疾控中心環(huán)境所采購(gòu)實(shí)驗(yàn)室設(shè)備
近日，中國(guó)疾病預(yù)防控制中心環(huán)境與健康相關(guān)產(chǎn)品安全所委托中技國(guó)際招標(biāo)有限公司組織公開(kāi)招標(biāo)，為環(huán)境與人群健康重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室平臺(tái)采購(gòu)全自動(dòng)生...2025-04-30 09:37:57 -
預(yù)算911萬(wàn)元 蘭州新區(qū)生態(tài)環(huán)境局采購(gòu)揮發(fā)性有機(jī)物監(jiān)測(cè)儀器
近日，蘭州新區(qū)生態(tài)環(huán)境局委托甘肅中鑫項(xiàng)目管理咨詢有限公司組織公開(kāi)招標(biāo)，為化工園區(qū)揮發(fā)性有機(jī)物監(jiān)管能力提升采購(gòu)車(chē)載 VOCs 監(jiān)測(cè)系...2025-04-30 09:30:04 -
預(yù)算1332萬(wàn)元 中國(guó)水稻研究所采購(gòu)生命科學(xué)儀器
近日，中國(guó)水稻研究所委托浙江求是招標(biāo)代理有限公司組織公開(kāi)招標(biāo)，采購(gòu)全自動(dòng)熒光顯微鏡、四極桿飛行時(shí)間質(zhì)譜儀等儀器設(shè)備，預(yù)算1332萬(wàn)...2025-04-30 09:18:07
版權(quán)與免責(zé)聲明
- ①凡本網(wǎng)注明“來(lái)源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其他方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來(lái)源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
- ②本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來(lái)源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點(diǎn)和對(duì)其真實(shí)性負(fù)責(zé)，不承擔(dān)此類(lèi)作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個(gè)人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時(shí)，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來(lái)源，并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。
- ③如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問(wèn)題，請(qǐng)?jiān)谧髌钒l(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。
