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國產(chǎn)光刻機技術(shù)的持續(xù)突破 將促進半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化
2024年09月24日 10:19:46
來源：化工儀器網(wǎng) 點擊量：7724
《首臺(套)重大技術(shù)裝備推廣應(yīng)用指導(dǎo)目錄(2024 年版)》中的電子專用裝備目錄下提到，集成電路生產(chǎn)設(shè)備方面包括化氟化氪光刻機，光源248納米，分辨率≤110nm，套刻≤25nm；氟化氬光刻機，光源193納米，分辨率≤65nm，套刻≤8nm。
【化工儀器網(wǎng) 行業(yè)百態(tài)】按照市場監(jiān)管總局等5部門于今年4月聯(lián)合印發(fā)的《中國首臺(套)重大技術(shù)裝備檢測評定管理辦法(試行)》，重大技術(shù)裝備是國之重器，事關(guān)綜合國力和國家安全。中國首臺(套)重大技術(shù)裝備，是指國內(nèi)實現(xiàn)重大技術(shù)突破、擁有知識產(chǎn)權(quán)、尚未取得明顯市場業(yè)績的裝備產(chǎn)品，包括整機設(shè)備、核心系統(tǒng)和關(guān)鍵零部件等。
為促進首臺(套)重大技術(shù)裝備創(chuàng)新發(fā)展和推廣應(yīng)用，加強產(chǎn)業(yè)、財政、金融、科技等國家支持政策的協(xié)同，工信部于9月9日印發(fā)《首臺(套)重大技術(shù)裝備推廣應(yīng)用指導(dǎo)目錄(2024 年版)》(以下簡稱《目錄》)通知，在文件列表包含國產(chǎn)氟化氪光刻機(110nm)，和氟化氬光刻機(65nm)等集成電路關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備?！赌夸洝分械碾娮訉Ｓ醚b備目錄下提到，集成電路生產(chǎn)設(shè)備方面包括化氟化氪光刻機，光源248納米，分辨率≤110nm，套刻≤25nm；氟化氬光刻機，光源193納米，分辨率≤65nm，套刻≤8nm。
工信部的一份文件，將國產(chǎn)光刻機研發(fā)再度推入公眾的視線。盡管上證指數(shù)在過去一周承壓，但A股的光刻機板塊上漲了近5%，成為近期表現(xiàn)比較亮眼的一個板塊。僅9月18日當(dāng)天，光刻機概念板塊就上漲了5.35%，領(lǐng)漲A股所有概念板塊。個股方面，同飛股份、波長光電錄得20%的漲幅，新萊應(yīng)材、藍(lán)英裝備、海立股份等股價均漲逾9%。龍頭股張江高科一周累計上漲19.28%。
據(jù)業(yè)內(nèi)人士分析，此次國產(chǎn)套刻指標(biāo)≤8nm的氟化氬光刻機，除了目前最先進的CPU、GPU、AI芯片外，普通工業(yè)級芯片的生產(chǎn)完全可以使用國產(chǎn)光刻機了。據(jù)華金證券研報，全球市場EUV光刻機銷量逐步增長。根據(jù)各公司數(shù)據(jù)，2023年，全球前三大光刻機廠商銷售共計681臺，同比增長21.82%，銷售量創(chuàng)歷史新高，2024Q1全球前三大廠商共計銷售光刻機139臺。
國產(chǎn)光刻機技術(shù)的持續(xù)突破，讓不少機構(gòu)都在看好國內(nèi)晶圓廠的投資增長和國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備的國產(chǎn)化機遇。業(yè)界普遍認(rèn)為，官方披露核心設(shè)備進展也會在一定程度上提振市場信心，國產(chǎn)光刻機相關(guān)產(chǎn)業(yè)鏈也會受益。
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